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EMS1050 低温灰化仪
应用领域: l  生物芯片领域 l  医用材料、光学材料研究 l  电子半导体领域 l  高分子材料研究 l  电化学、高端零部件处理 l  有机材料的灰化、刻蚀       仪器性能: l  自动调频高频发生器 l  内置旋转真空泵 l  此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀 l  低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF) l  真空监测. l  双重气流针阀控制 l  精确时间定时 l  微处理器程序设置 l  LCD状态数字显示 l  腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,样本操作方便 l  聚碳酸脂安全防护     技术参数:
体积 450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)
工作腔室 派热克斯玻璃 160mm(L)x110mm(Dia.) (硼硅酸盐玻璃为标准配置)
重量 25Kg
等离子体输出 最大150w13.56 MHz
   
真空度 >ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.
时间控制 最长可设置99小时59分钟
双重气流控制 双重针阀气流控制,可选1种或2种气体(校准 5-100cm3/min air at A.T.P)
电源 230 V 50Hz (3 amp Max)
  订购信息:
货号 产品名称 规格
93000 EMS 1050 低温灰化仪
91005-F Rotary Vacuum Pump (Fomblin)
 
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